浅谈EVATEC BAK761电子束真空蒸发镀膜系统基本结构原理及维护

邓坤

（成都海威华芯科技有限公司  四川成都  610299）

摘  要：电子束真空蒸发镀膜系统被广泛应用于现代半导体制造与材料表面改性等领域， 本文主要通过真空和电子束来阐释Evatec（瑞士）公司的BAK761型电子束真空蒸发镀膜系统的基本结构与原理，并结合实际阐述生产中经常遇到的一些故障处理与维护保养方法。

关键词：蒸发镀膜；真空；冷凝泵；电子束；维护